Рентгеновская структурная диагностика в исследовании приповерхностных слоев монокристаллов
Афанасьев А.М., Александров П.А., Имамов Р.М.
Изложены основные идеи физики дифракции рентгеновских лучей, направленные на создание методов анализа кристаллической структуры тончайших приповерхностных слоев и границ раздела кристаллов высокой степени совершенства, в первую очередь полупроводниковых кристаллов, являющихся основой современной микроэлектроники.
Year:
1986
Publisher:
Наука
Language:
russian
Pages:
97
Series:
Проблемы науки и технического прогресса (ПНТП)
File:
DJVU, 1.57 MB
IPFS:
,
russian, 1986
Litres
Want to add your book store? Contact us at support@z-lib.do
File converter
More search results
More benefits 
